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ZZYVP氮封閥
簡要描述：在半導(dǎo)體和電子、TFT等行業(yè)中，由于對純化水的雜質(zhì)含量要求已經(jīng)到了接近理論純水的級別，防止超純水箱長期接觸空氣造成的污染（如：灰塵，細(xì)菌，氣體，有機物等），并保證工藝用水水質(zhì)，作為廠務(wù)純水系統(tǒng)管理人員，必須掌握ZZYVP氮封閥的原理。
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
- 更新時間：2024-10-15
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ZZYVP氮封閥應(yīng)用行業(yè)：
在半導(dǎo)體和電子、TFT等行業(yè)中，由于對純化水的雜質(zhì)含量要求已經(jīng)到了接近理論純水的級別，防止超純水箱長期接觸空氣造成的污染（如：灰塵，細(xì)菌，氣體，有機物等），并保證工藝用水水質(zhì)，作為廠務(wù)純水系統(tǒng)管理人員，必須掌握ZZYVP氮封閥的原理。
超純水氮封描述：
ZZYVP氮封閥是一種無須外來能源，利用被調(diào)介質(zhì)自身的壓力變化達(dá)到自動調(diào)節(jié)和穩(wěn)定閥后壓力為設(shè)定值。該閥壓力設(shè)定在指揮器上實現(xiàn)，方便、快捷，壓力設(shè)定值在運行中也可隨意調(diào)整；控制精度高，可比一般ZZY型直接操作自力式壓力調(diào)節(jié)閥高，適合于控制精度要求高的場合。它廣泛應(yīng)用于氮封水箱系統(tǒng)氮氣保護自動調(diào)節(jié)裝置。
下圖是ZZYVP氮封閥一般工作原理圖:
氮封裝置由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成；泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮氣壓力一般設(shè)為100mmH2O.通過氮封裝置精確控制。
當(dāng)水箱上游水泵開啟，向超純水水箱補水時，水箱水位上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當(dāng)水箱上部氣體空間壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時，泄氮裝置打開，向外界釋放氮氣，使罐內(nèi)壓力下降，當(dāng)降至泄氮裝置壓力設(shè)定點時，泄氮裝置自動關(guān)閉。當(dāng)水箱后級水泵開啟，用戶端開始用水時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內(nèi)壓力降低，供氮裝置開啟，向儲罐注入氮氣，使罐內(nèi)壓力上升，當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動關(guān)閉。
1.供氮裝置工作原理：
供氮裝置結(jié)構(gòu)如圖所示，將設(shè)在罐頂?shù)娜狐c的介質(zhì)經(jīng)導(dǎo)壓管引入檢測機構(gòu)(7)、介質(zhì)在檢測元件上產(chǎn)生一個作用力與彈簧(8)、預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低至低于供氮裝置壓力設(shè)定點時，平衡被破壞，使指揮器閥芯(6)打開，從而使閥前氣體經(jīng)減壓閥(5)、節(jié)流閥(4)、進入主閥執(zhí)行機構(gòu)(3)上、下膜室，打主開閥閥芯(2)、向罐內(nèi)充注氮氣；當(dāng)罐內(nèi)壓力升至供氮裝置壓力設(shè)定點時，由于預(yù)設(shè)彈簧力，關(guān)閉指揮器閥芯(6)又由于主閥執(zhí)行機構(gòu)中彈簧作用，關(guān)閉主閥，停止供氮。
2.泄氮裝置工作原理：
泄氮裝置結(jié)構(gòu)如右圖所示，該裝置采用內(nèi)反饋結(jié)構(gòu)，介質(zhì)直接經(jīng)閥蓋進入檢測機構(gòu)(2)，介質(zhì)在檢測元件上產(chǎn)生一個作用力與預(yù)設(shè)彈簧(3)預(yù)緊力相平衡。當(dāng)罐內(nèi)壓力升高至高于泄氮裝置壓力設(shè)定點時，平衡被破壞，使閥芯(1)上移，打開閥門，向外界泄放氮氣；當(dāng)罐內(nèi)壓力降至泄氮裝置壓力設(shè)定點時，由于預(yù)設(shè)彈簧力作用，關(guān)閉閥門。
說明：
一般供氮氣壓力在3×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用，是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過高或過低時，起到安全作用，在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂，口徑一般與進液閥口徑*,一般泄氮閥的壓力設(shè)定點略大于供氮閥的壓力設(shè)定點，以免供、泄氮裝置頻繁工作，浪費氮氣、影響設(shè)備的使用壽命
在超純水系統(tǒng)中，超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進行，即從水箱上部氣體空間引出單獨的管道，末端浸入水槽液面中，液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的大正壓確定，也可以實現(xiàn)泄氮功能且比較經(jīng)濟。
解決超純水與空氣接觸的常用方法：
1、充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。
2、薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。
3、浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見，實施簡單，效果好。
